Optisches 3D-Prüfgerät zur Tiefenanalyse von technischen Oberflächen

Das optische 3D-Messgerät erzielt Ergebnisse von bis zu 20 nm z-Auflösung trotz steiler Flanken, großer Rauhigkeiten und starker Reflexionen. Der maximale Scanbereich beträgt 120 mm x 53 mm und die maximale Scanhöhe 7 mm bei einer maximalen Probenhöhe von 70 mm. Zudem bietet InfiniteFocus Verifikationsmöglichkeiten durch das optische Farbbild. InfiniteFocus eröffnet Applikationen in der Materialwissenschaft und Werkstoffprüfung, Automobil-, Halbleiter und Leiterplattenindustrie, Forensik, Pharmaindustrie sowie Medizintechnik. In sämtlichen Bereichen der Mikro- und Nanotechnologie kann InfiniteFocus eingesetzt werden.

Quelle: idw / Fraunhofer Vision