Neue VDI-Richtlinie zur Kalibrierung von Rastersondenmikroskopen

Nur eindeutig rückführbare Messungen erfüllen die gestellten Anforderungen an die Vergleichbarkeit von Messergebnissen. Vor diesem Hintergrund ist die Kalibrierung von Messgeräten unerlässlich.

Die neue Richtlinie VDI/VDE 2656 Blatt 1 beschreibt Verfahren zur rückführbaren Kalibrierung und Charakterisierung von Rastersondenmikroskopen. Fortschreitende industrielle Miniaturisierung macht zuverlässige und vergleichbare dimensionelle Messungen im Mikro- und Submikrometerbereich notwendig. Dabei wird bereits heute eine Auflösung im Nanometerbereich und darunter verlangt. Deshalb kommen in stark steigender Zahl Rastersondenmikroskope als quantitative Messinstrumente zum Einsatz, wobei deren Anwendung längst nicht mehr nur auf Forschung und Entwicklung beschränkt ist. Daraus ergibt sich die Notwendigkeit, auch für diese Messgeräte standardisierte Kalibrierverfahren zu entwickeln, wie sie z. B. für Tastschnittgeräte längst etabliert sind. Die Anwendung der in der Richtlinie beschriebenen Verfahren erfüllt damit eine notwendige Voraussetzung, Messungen geometrischer Größen rückführbar durchführen zu können.

Die Richtlinie VDI/VDE 2656 Blatt 1 ist ab Juni 2008 bei dem Beuth Verlag in Berlin erhältlich. Die Richtlinie ersetzt den Entwurf von Dezember 2006.

Quelle: Verein Deutscher Ingenieure (VDI)